“御史”一职，自商周时期就已设立，最早属于史官序列。在甲骨文和金文中就有“御史”的记载，其职责是记录国君的言行、记录重大事件活动、管理有关诸侯国及民众治理命令的文书事务等，可称为国君的“侍从史官”。《周礼》中称御史“掌赞书及邦书都鄙畿内万民”。春秋战国时期，别国使臣献国书，常由御史转接，上书的人多称“献书于大王御史”。两国国君相会，常由御史在旁记录，秦、赵渑池之会，双方都命御史执笔，从各自角度来记录这件事，御史履行史官之职责。
战国时期，御史开始逐渐兼有监察的职能。齐国大夫淳于髡以博学多才、善于辩论著称，一次，齐王问他饮多少酒才会醉，他回答齐王说，如果在大王面前喝酒，“执法在傍，御史在后”，我胆战惊心，就不敢放开肚量喝，喝不了一斗就醉了。
秦始皇统一六国后，为了监督百官，加强中央集权，在中央设立监察机构——御史大夫寺，以御史大夫为首，下设御史中丞、侍御史、监御史等，御史大夫兼任副丞相，是地位仅低于丞相的“三公”之一，负责监察文武百官，掌管天下文书，并辅佐丞相处理政务，御史大夫寺为其官署。
西汉时期，御史大夫作为作为御史府的最高长官，御史府负责监察中央官员，汉武帝时增设丞相司直和司隶校尉为中央监察官;在地方设十三部刺史，将全国分为13个监察区(即州)，每州设一名刺史，负责监督地方官员。西汉未年，御史大夫更名为大司空，御史府改称御史台，由御史中丞主管监察事务。东汉时，御史台称为宪台，仍以御史中丞为长官，御史台名义上是隶属于九卿之一的少府，但独立行使职权，实为最高的专门监察机关。东汉时的御史台机构很庞大，职权有所扩大，监察方面的权力也超过秦朝时的御史大夫寺。当时御史台地位很高，与显赫的尚书台、掌管宫廷传达的谒者台，并称“三台”。御史中丞的属官有治书侍御史，掌解释法律条文;侍御史，掌察举官吏违法，授受公卿、郡吏奏事。侍御史下掌五曹，即令曹、印曹、供曹、尉马曹、乘曹。归纳起来，凡监察非法、举劾违失、典法度、掌律令、理大狱、治疑狱、掌图书秘籍、监理诸郡、监察部刺史、监察三辅郡、监督军旅、督运军粮、讨捕盗贼、纠察朝仪、扈从巡幸、监护东宫等等，无不在御史中丞职司之内。此时其实际地位，仅次于尚书令。
隋朝初年，为提升御史台的地位，又重新设置了御史大夫一职，专掌纠察，号称“天子耳目”。到唐朝，御史台从行政体系中独立出来，作为独立的监察机构，其下分别有台院、殿院和察院，三者管辖范围分明，形成了一个系统型、网络型的监察体系。唐朝还制定了专门的监察法规《六察》和《风俗廉察四十八条》等，使我国的监察制度向着规范化、专门化的方向发展。
宋代在唐朝监察制度的基础上进行了改革，由御史台和谏院共同组成监察机构，实行“台谏合一”。到元朝，不再设置专门的谏官，而是由御史行使纳谏的职责，真正实施了“台谏合一”制度。
明清时期，我国的监察制度达到鼎盛，御史的职责和权力也变得更大了。明朝改御史台为都察院，机构人数空前增多，在中央设左、右都御史，左、右副都御史，左、右检都御史。明朝都察院把各行省划分为十三个道，下设十三道监察御史，为正七品官，分区掌管监察，称“巡按御史”。巡按御史被誉为“代天子巡狩”，民间称为“八府巡按”，大事奏裁，小事主断。州县官员在巡按御史到来前，“迎跪道旁，倘遇风雨，即知府亦陷膝泥中。”明代御史最大的特点就是，以小官监督大官，其品秩很低，只有正七品，但其职权很大，“凡政事得失，军民利病，皆得直言无避”，不仅可对皇亲国戚、地方大员进行弹劾，也可由皇帝赋予直接审判地方官员的权力，对各布政司和府州县等进行直接监督。巡按御史来了，无论是一二品的地方大员，还是贵为皇亲国戚，都会畏惧三分。
到清朝，为集中皇权将“六科给事中”的相应职权归附于都察院负责。“六科给事中”和十五道监察御史合称“科道官”，六科给事中已不再具有封还皇帝失宜诏命及驳正臣下违误奏章的职能，“六科给事中”和监察御史的权力、地位和影响力已远低于明代和其他朝代。
监察制度是我国古代国家治理体系中的重要一环，对整肃纲纪、维护吏治、涤荡政治污弊有着重要作用，且涌现出了一大批正直敢言、不畏强权的“监察官”，形成了我国古代独具特色的监察文化。这种文化的核心是崇廉尚洁，刚正不阿，敢于同一切贪腐丑恶现象作斗争。我国古代监察制度历史悠久、体制完备、设计严密、影响深远，其历史经验对当下仍然具有重要的借鉴意义。